XPS

型号：Thermo ESCALAB 250XI; Axis Ultra DLD Kratos AXIS SUPRA; PHI-5000versaprobe

测试项目：

原则上可以测试除H，He之外的元素，说明如下：

1. 元素的价态及半定量分析。小于1%的元素可能测不出明显信号。

2. 俄歇谱、价带谱和刻蚀（<5nm）。刻蚀一般在5 nm以内。

3. 含铁钴锰镍元素的定性为磁性样品，样品含S，F等元素或其他特殊需求需要咨询交流。

样品要求：

1. 样品状态：可为粉末、块状、薄膜样品

2. 粉末样品：20-30mg

3. 块状、薄膜样品：块体/薄膜样品尺寸小于5*5*3mm

常见问题及回答：

  某些价态会扫不出来吗？

不会，全谱能量很高。如果测不出来，要么就是污染碳很高，要么就是含量很少。一般是后者原因居多。

  每种元素的检测限一样么？

不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。

  怎么判断拟合是好是坏，是拟合了两个峰算好还是拟合了三个峰算好？

看波动大小，越小越好；还要看对应的物理意义。波动如下图所示。具体拟合几个峰，要参考样品本身的情况，以及拟合的贴合度，没有严格的界定哪个更好。

结果展示：

250xi 是相对常用的设备，其结果如下：

测试结果给出的是VGD格式和excel格式测试结果。Excel格式文件用origin软件作图；VGD格式文件可以用AVANTAGE分析软件打开。

PHI的格式如下：

测试结果给出的是原始文件pdt格式和excel格式测试结果。Excel格式文件用origin软件作图；pdt需要特定软件multipak打开。